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源头:本站    公布时间:2017/12/28 15:09:45    点击量:

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电子行业斲丧工艺有抗静电、抗微振的要求,并且大宗气体和特种气体种类多,对纯度和洁净度要求高:
1.电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不该大于65dB(A)
2.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不该小于60%,水平单向流洁净室不该小于40%,不然便是局部单向流了。
3.电子制造厂洁净室与室外的静压差不该小于10Pa,差异气氛洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不该小于5Pa
4.电子制造行业万级洁净室内的奇异气氛量应取下列二项中的最大值:
5.补偿室内排风量和对峙室内正压值所需的奇异气氛量之和。
6.包管提供洁净室内每人每小时的奇异气氛量不小于40m3。

 

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